掃描電鏡相比普通顯微鏡分辨率更高，成像立體效果更好，已應用于諸多領域，提到分辨率，哪些因素會對掃描電鏡造成影響呢？

1、透鏡的球差、色差等像差導致分辨率降低。

2、入射電子束同樣品相互作用降低了分辨率。電子在進入固體后，將在其中發生一系列的散射，這些散射過程根據能量變化可分為彈性散射和非彈性散射兩個基本過程。

3、信噪比也影響了掃描電鏡的分辨率。

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