原位MEMS-TEM-STM多場測量系統（非定量力+電+光+加熱）是原位透射電子顯微鏡實驗系統，使研究者可以在透射電子顯微鏡中構建一個可控的多場環境（包括力，熱，光，電等），從而對材料或者器件等樣品實現多重激勵下的原位表征。

光纖指標

●多模光纖外徑250um，保證電鏡系統真空指標;

●可選光纖探針、平頭光纖;

●配備快速SMA接頭、FC接頭。

加熱指標

●溫度控制范圍：室溫至1000℃；

●溫度準確度：優于5%；

●溫度穩定性：優于±0.1℃。

產品特色

●可通過簡單更換MEMS芯片種類以及不同STM探針為樣品施加四種激勵，實現多種復雜的測試功能，完成以往無法實現的研究；

●高溫拉伸/壓縮 (加熱芯片+電學STM探針) ;

●熱電子發射/場發射 (加熱芯片+電學STM探針) ;

●三端器件測量 (電學芯片+電學STM探針) ;

●電致發光現象研究 (電學芯片+光學STM探針) ;

●光電現象研究 (電學芯片+光學STM探針) ；

●穩定性高：輕松獲得大幅度運動中的高分辨像，適用于更廣泛的應用場景和樣品體系；

●很長的壽命：專利技術（專利種類：實用新型（具備高分辨多維操縱和電學測量的電子顯微鏡原位樣品桿） 專利號：202020944865 .4）的“爪-球”結構探針桿因其獨特的結構設計，是公認皮實耐用的探針桿；

●很低維護成本：設備配套的針尖制備系統可低成本制備針尖耗材?！弊?球“微動結構已實現模塊化量產，維護成本低；

●很大的用戶群：在國內擁有近200個高質量原位用戶，出口到歐美澳等地。每年，用戶會產出大量高質量研究成果。定期組織各類用戶交流活動，搭建學術平臺供用戶交流；

●成熟的技術支持網絡：在安徽、北京、東莞和上海擁有分公司，其他各地擁有若干技術支持網點，24小時提供技術支持。

應用領域